PVD Termal Kaplama Sistemleri Vakum Kazanı:SS304 Silindirik (SS304 Koruma Ceketi ile Birlikte) Taban Basıncı :< 5×10-7  Torr (30 Dakikada 5×10-6 Torr Vakum seviyesi) Vakum Sızdırmazlığı : < 10-8  Torr.l/s Vakum Ölçümü : Kombinasyon Tipi  (1000 – 10-9 Torr) Yüksek Hızlı Pompa :  300 l/s Difüzyon Pompası (260 l/s Turbo Pompa…