PVD Termal Kaplama Sistemleri
Vakum Kazanı:SS304 Silindirik (SS304 Koruma Ceketi ile Birlikte)
Taban Basıncı :< 5×10^-7  Torr (30 Dakikada 5×10^-6 Torr Vakum seviyesi)
Vakum Sızdırmazlığı : < 10^-8  Torr.l/s
Vakum Ölçümü : Kombinasyon Tipi  (1000 – 10^-9 Torr)
Yüksek Hızlı Pompa :  300 l/s Difüzyon Pompası (260 l/s Turbo Pompa Opsiyonel)
Mekanik Pompa :  10 m³/h Çift Kademeli Mekanik Pompa
Alttaş Plakasının Çapı : 2” Çap
Alttaş Döndürme :0 – 30 rpm Ayarlanabilir
Kaplama Kalınlığı Kontrolü : Quartz Kristal Osilatör ile
Biriktirme Modu :  Yukarı Yönde
Kaynak Sayısı : 2 Adet Rezistif Termal Buharlaşma Kaynağı
Termal Kaynak Güç Kaynağı : 10V – 200A
Kontrol : Ful Otomatik Vakuma Alma, Manuel Biriktirme (Varyak ile)
Boyutlar : 80x100x140 cm